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潔凈室的氣流速度/通風頻率一直是潔凈室設計中關注的問題。隨著潔凈室污染源控制效果的提高和最終過濾器效率的提高，有關規范和指南的推薦值或參考值是否保守的問題已經引起了廣泛的討論。實踐中解決了有關噪聲、損壞和維修問題。隨著FFU技術的不斷完善，是否采用FFU回風系統也是一個熱點：懸浮分子污染（AMC）的控制越來越受到微電子和集成電路行業的重視。下面是對這些問題的總結和分析。
無塵潔凈室在一定潔凈度下的氣流速度的測定隨潔凈室的使用而變化。它不僅受室內粉塵量和過濾器效率的影響，還受其他因素的影響。就工業潔凈室而言，影響潔凈度和選擇氣流速度的主要因素有：
（1）室內污染源：建筑構件、人數及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝本身均為粉塵釋放源，根據具體情況變化較大；
（2）室內氣流流型及分布：單向流要求流線均勻、均勻，但由于工藝設備布置、位置變化和人員活動的干擾，會形成局部渦流；非單向流要求混合，以避免死角和溫度分層。
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